Электронные измерения в нанотехнологиях и микроэлектронике

ПредисловиеСредства и объекты нанотехнологийПереход от микротехнологии к нанотехнологииОт механических часов к микропроцессоруЗакон Мура и падение 100-нм барьераЭлектронная и рентгеновская микроскопияОтличия электронной микроскопии от оптическойТипы электронных микроскоповСферы применения электронных микроскоповРентгеноскопия интегральных микросхемКомпоненты интегральных микросхемКомпоненты микросхем - пассивные и активныеПолевые транзисторы - кирпичики интегральных микросхемИнтегральные микромощные полевые транзисторыТерагерцовые полевые транзисторыСверхскоростные гетеропереходные Si-Ge биполярные транзисторыТрехзатворные полевые транзисторыНужны ли мощные транзисторы?Интегральные микросхемыТипы интегральных микросхемПроцесс изготовления интегральных микросхемМикропроцессоры - от одноядерных к многоядернымПарадоксы микроэлектронной технологииОт алюминия к медиФотолитография с ультракороткими лучами - прорыв в будущееТестирование и отладка микросхемНачало нанотехнологий в микроэлектроникеЧудеса нанотехнологийЭлектромеханика на кремниевом кристалле (MEMS)Проекционный дисплей и гибкие экраныНанотрубкиПодключение нанотрубок к МДП-микротранзисторуГаллиевый «градусник» на углеродной нанотрубкеТвердотельная память вместо жестких дисковНанотехнологии повышают мощность химических элементовНанороботы и наноавтомобилиНанотехнологии в производстве новых материаловПолупроводниковые микролазерыОт фантастики к практикеИзмерения на постоянном токеОсновные компоненты электронных схемПассивные и активные компоненты (обзор)Источники напряжения и токаПогрешность измерения постоянного напряженияИзмерения в произвольных цепях постоянного токаРезистивные компоненты (резисторы)Комплекс приборов для измерений в микроэлектронике и в нанотехнологияхИсточники электропитания и их имитаторыПервичные и вторичные источники электропитанияИмитаторы батарейВысоковольтные источники питанияВысоковольтные источники питания/измерителиЭлектронные нагрузкиКалибраторы измерителей напряжения и тока5500А5520АМике 9100Измерение параметров резистивных компонентовИзмерение резистивности и проводимостиИзмерители больших и малых сопротивленийМетоды измерения удельного сопротивления и типа полупроводниковИзмеритель удельного сопротивления полупроводников ПИЛЛАР-1УКомплекс измерения больших удельных сопротивлений Keithley 65Электрометр и измеритель высокоомных сопротивлений КеНМеу 6517АИзмерения экстремальных (высоких и низких) сопротивленийОпределение типа проводимости полупроводниковИзмерение сверхмалых постоянных токов и напряженийФизические эффекты, ведущие к генерации сверхмалых токов и напряженийМетоды измерения сверхмалых токов и напряженийМультиметры с расширенными пределами измеренияПикоамперметрыМикровольтметры и нановольтметрыМетоды повышения точности измерений сверхмалых напряжений, токов и сопротивленийИзмерение температурыАксессуары, опции и средства интеграции приборовВыбор аксессуаров для измерительных приборовОпции для измерительных приборовСредства интеграции измерительных приборовАнализатор/источник постоянных напряжений Agilent N6705AНазначение и конструкция прибораОтображаемая дисплеем информацияГенератор испытательных сигналовПрименение прибораИзмерения на переменном токеОсновные параметры переменного напряжения и токаПараметры синусоидального напряжения и токаИстинное среднеквадратическое значение (True RMS)Коэффициент нелинейных искажений (гармоник)Измерение параметров переменного напряжения и токаПринципы построения измерителей переменных токов и напряженийПринципы построения измерителей с истинным среднеквадратическим значениемИзмерение переменных токов и напряжений мультиметрамиИзмерители коэффициента гармоникИзмерители частоты, периода и фазыПрофессиональные цифровые частотомеры фирмы PendulumИзмерители мощности ВЧ- и СВЧ-сигналовПараметры реактивных компонентов и цепей с нимиИдеальная индуктивностьИдеальная емкостьИммитанс, адмитанс и импеданс цепейИзмерение параметров реактивных компонентовИзмерение емкости и индуктивностиОбщий обзор цифровых измерителей иммитанса и импедансаЦифровой измеритель иммитанса Е7-20Малогабаритный измеритель иммитанса Е7-25Работа с измерителем иммитанса Е7-20Широкодиапазонные RLC-измерители АКТАКОМ АМ-3001, АМ-3018 и АМ-3026Лабораторные LC/7-измерители компании Good WillЛабораторные LCft-измерители АКИП серии 61**АКИП 6101АКИП 6103Высокочастотные LCfi-измерители фирмы WKИзмерительные генераторы сигналовАналоговые генераторы синусоидальных сигналовОсновные типы аналоговых генераторов синусоидального напряженияОбобщенная схема аналогового генератора синусоидального напряжения/?С-генераторы/.С-генераторы синусоидального напряженияКварцевые резонаторы и генераторыЭталонные генераторы синусоидального напряженияZ.C-генераторы стандартных сигналов (ГСС)Основы цифрового синтеза частоты и формы сигналовОсновные методы цифрового синтеза синусоидальных сигналовЦифровой частотный синтезГенераторы произвольных функций (AFG)Генераторы сигналов произвольной формы (AWG)Шум квантования у генераторов с цифровым синтезом формы сигналовФазовый шум генераторовГСС с цифровым синтезом умеренной сложностиПростые ВЧ- и СВЧ-генераторы с цифровым синтезомГСС с цифровым синтезом фирмы Agilent TechnologiesГенераторы синусоидальных сигналов фирмы ROHDE&SCHWAREВекторные генераторы синусоидальных сигналовВекторное представление сигналов и цифровая модуляцияВекторные генераторы фирмы Agilent TechnologiesВекторные генераторы фирмы Р&БВекторные генераторы фирмы KeithleyИмпульсные сигналы и принципы их генерацииФормы и параметры импульсовСпектр импульсных сигналовСхемотехника импульсных генераторовТипичная функциональная схема генератора импульсовОтечественные серийные генераторы импульсовЗарубежные промышленные генераторы импульсовГенераторы импульсов сверхмалой длительностиПринципы генерации импульсов с субнаносекундным временем нарастанияГенераторы импульсов с субнаносекундными фронтамиГенераторы пикосекундных импульсов фирмы Picosecond Pulse LabАналоговые функциональные генераторыОсновные типы функциональных генераторовФункциональные генераторы с интегратором на интегральном операционном усилителеФункциональные генераторы, управляемые напряжением или токомМикросхемы для аналоговых функциональных генераторовОтечественные аналоговые функциональные генераторыФункциональные генераторы зарубежных фирмФункциональные генераторы с цифровым синтезом выходных сигналовПринципы построения функциональных генераторов с цифровым синтезом выходных сигналовЦифровые функциональные генераторы зарубежных фирмГенераторы серии AFG3000 компании TektronixВнешний вид и работа с генераторами серии AFG3000Технические характеристики генераторов AFG3000Работа с генератором АРСЗООООсновные возможности генераторов AFG3000Применение AFG3000 в роли ГКЧ и Q-метраПрименение AFG3000 в роли импульсного генератораПрограммное обеспечение генераторов AFG3000Назначение программы ArbExpress и ее интерфейсСоздание сигналов стандартных формНастройка на типы приборов и работа с файламиПрограммирование формы сигналовПрименение графического редактора формы сигналовМатематические операции с сигналамиПостроение сигнала по осциллограммеУправление генераторами от системы MATLABПрограмма NI Signal Express Tektronix EditionНазначение программыВыбор и запуск программыОкно выбора инструмента (прибора)Работа с генератором серии AFG3000Дополнительные возможности программыГенераторы сигналов произвольной формы класса AWGСравнение генераторов класса AFG и AWGГенераторы серии AWG7000Генераторы серии AWG5000Генераторы цифровых сигналов произвольной формы (паттернов)Функциональная схема генератора паттернов данныхГенераторы цифровых сигналов Tektronix DG2020AГенераторы цифровых сигналов Tektronix DG5078/5274/DTG5334Генератор импульсов/паттернов серии 3400 фирмы KeithleyСовременные электронные осциллографыЗакат аналоговой осциллографииОсновные типы электронных осциллографовДостоинства и недостатки аналоговых осциллографовТребования к усилителям осциллографовШирокополосные аналоговые осциллографы АКТАКОМ-МАТБи с обычной ЭЛТШирокополосные аналоговые осциллографы АКТАКОМ-МАТБи со сканирующей ЭЛТОсновы построения и работы цифровых запоминающих осциллографовБлок-схема цифрового запоминающего осциллографаО выборе числа отсчетов, восстановлении и интерполяции сигналовДостоинства и недостатки цифровых запоминающих осциллографов«Бюджетные» цифровые запоминающие осциллографыКакие из цифровых осциллографов можно отнести к бюджетнымМассовые цифровые осциллографы юго-восточных фирмМассовые цифровые осциллографы фирмы RIGOLЦифровые осциллографы компании TektronixЦифровые осциллографы фирмы Tektronix закрытой архитектурыЦифровые осциллографы Tektronix с открытой архитектуройТехнические новинки в осциллографах фирмы TektronixЦифровые осциллографы фирмы LeCroyЦифровые осциллографы LeCroy с полосой до 500 МГцЦифровые осциллографы 1_еСгоу среднего классаЦифровые осциллографы 1_еСгоу высшего классаЦифровые осциллографы фирмы Agilent Technologies«Бюджетные» цифровые осциллографы фирмы AgilentЦифровые осциллографы фирмы Agilent Technologies среднего классаЦифровые осциллографы фирмы Agilent Technologies высшего классаInfiniium 80000Infiniium 90000АСтробоскопические осциллографыПринципы построения стробоскопических осциллографовГенераторы стробирующих импульсовУстройства выборки сигналовОтечественные стробоскопические осциллографыСтробоскопический осциллограф ПКС1-24Стробоскопические осциллографы серии Wave Expert с полосой до 100 ГГцИскусство осциллографииАксессуары осциллографов и их применениеНазначение пробниковПробники на основе компенсированного делителяВысоковольтные пробникиПробники с коррекцией частотной характеристикиУчет параметров пробниковПодключение пробников к источникам сигналовЭволюция конструкции осциллографических пробниковПробники с оптической развязкойТоковые пробникиНовейшие пробники Tektronix класса TekConnect™ и TekVPI™Согласованные широкополосные устройстваСогласованные пассивные пробники и кабелиО выборе входного сопротивления у осциллографовКоаксиальные аттенюаторы, переходники и тройникиАктивные осциллографические пробникиНазначение современных активных пробниковШирокополосные активные пробникиДифференциальные пробникиКонфигурация измерительной головки пробниковСверхширокополосные дифференциальные пробникиСпециальные устройства подключения и фиксации пробниковПрименение для подключения пробников механических манипуляторовСтанция 2020H/V фирмы Probing Solution, Inc.Импульсная рефлектоскопия и рефлетометрияОсновные положения импульсной рефлектометрииРасшифровка рефлектограммЦифровой осциллограф в роли рефлектометраСпектральный анализ с помощью цифровых осциллографовОсновы оконного спектрального анализаВыбор окна при спектральном анализеСпектральный анализ у простых осциллографовСпектральный анализ у осциллографов DPO 4000Спектральный анализ у осциллографов TDS 5000Спектральный анализ у осциллографов йРО 7000Спектральный анализа у осциллографов других фирмДругие возможности современных осциллографовРежимы выборок и пик-детекторОпорные осциллограммыРасчетные осциллограммы и математический редакторГлазковые диаграммыПрименение системы МАТ1.АВКомпьютерная математика в измерительной техникеПодключение к ПК цифрового осциллографаСтыковка цифрового осциллографа с системой MATLABПрограмма ввода в MATLAB осциллограмм двух каналовМатематические операции с сигналамиМатематические операции с сигналами двух каналовОчистка осциллограммы от шумаСпектральный анализ реальных осциллограмм в MATLABФурье-преобразование и периодограммы для реальных осциллограммMATLAB-инструмент спектрального анализа SPToolПостроение спектра в MATLAB различными методамиОценка в MATLAB спектра реальных сигналов в виде пачекВейвлет-анализ реальных осциллограмм в МАТ1_АВВейвлеты против рядов ФурьеВейвлет-анализ осциллограммGUI-средства для работы с вейвлетамиАнализаторы сигналов, спектра и цепейВведение в осциллографические анализаторыОбобщенная схема анализа электронных устройствОсновные типы осциллографических анализаторовГетеродинные и векторные анализаторы спектраПринципы построения гетеродинных анализаторов спектраСледящий (трекинг-) генераторОсновные типы детекторов в анализаторах спектраШум анализаторов спектраДинамические искажения АЧХ УПЧОсновные установки в анализаторах спектраГетеродинный анализатор спектра АКС-1100/1101Функциональная схема современного цифрового анализатора спектраВекторные анализаторы спектраСерийные цифровые анализаторы спектраАнализаторы спектра СК-4 БеланАнализатора спектра СК4-Белан 32Анализаторы спектра АКТАКОМ АКС-1301/1601Анализаторы спектра фирмы Nex1Анализаторы спектра фирмы LSAАнализаторы спектра фирмы Agilent TechnologiesАнализаторы спектра фирмы РЮНЮЕ&ЗОШАНгАнализаторы спектра фирмы Good Will GSP-810/827/9830Анализаторы спектра АКИП-4201 /4202Работа с цифровым анализатором спектраАнализаторы спектра реального времениНазначение анализаторов спектра реального времениФункциональная схема и работа анализатора спектра реального времениЦифровое преобразование сигналов в анализаторах спектра реального времениСинхронизация анализаторов спектра реального времениОсновные способы представления результатов анализаАнализаторы спектра реального времени RSA2200/3000Анализаторы спектра реального времени RSA3300B/3408BАнализаторы радиочастотного спектра серии RSA6100Примеры работы с анализатором Tektronix RSA 6114АЭкран анализатора спектра Tektronix RSA 6114АПрименение маркеровКонтроль спектра близких к идеальным импульсных сигналовИсследование спектров модулированных сигналовИсследование спектра сигналов с частотной модуляцией (FM)Исследование спектра сигналов с фазовой модуляцией (ФМ)Исследование спектра УКВ-диапазонаАнализаторы сигналов и источников сигналовМетоды измерения фазового шумаСистемы параметров для радиочастотных цепейИзмерительный приемник фирмы R&S FMSRАнализатор источников сигналов фирмы R&S FSUPРадиочастотные векторные анализаторы сигналов КеНЫеу 2810/2820Векторные и скалярные анализаторы цепейОсобенности анализаторов цепейАнализаторы четырехполюсниковМногопортовые векторные анализаторы цепейАксессуары для анализаторов спектраАнтенны для анализаторов спектра и электромагнитного поляПробник-переходник RTPA2A для анализаторов спектра реального времениВнешние смесители широкополосных анализаторов спектраПоследовательные и логические анализаторы, осциллографы смешанных сигналовПоследовательные анализаторы сигналовТребования к последовательным анализаторам телекоммуникационных сигналовПоследовательные анализаторы Tektronix DSA70000Цифровой последовательный анализатор Tektronix DSA8200Последовательные анализаторы реального времени LeCroy SDA 18000/10000/9000Последовательные анализаторы реального времени 1_еСгоу БОА 80021Последовательные анализаторы фирмы AgilentАнализ логических состоянийНазначение логических анализаторовФункциональная схема логического анализатораЭтапы работы с логическим анализаторомЗапуск логического анализатора и синхронизацияСинхронный и асинхронный режимы сбора данныхГлитчи в цифровой аппаратуре и проблема их обнаруженияСовременные логические анализаторыЛогические анализаторы фирмы Agilent TechnologiesЛогические анализаторы фирмы Tektronix серий TLA 700 и 600Логические анализаторы фирмы Tektronix серии TLA 5000Логические анализаторы серии LA фирмы LeaptronixЛогические анализаторы фирмы Hewlett PackardОсциллографы смешанных сигналовНазначение осциллографов смешанных сигналовОсциллографы смешанных сигналов фирмы Agilent TechnologiesОсциллографы смешанных сигналов фирмы TektronixОсциллографы смешанных сигналов фирмы RIGOLПрименение осциллографов фирмы 1_еСгоу с опциями логического анализатораПодключение логических анализаторов к испытуемому устройствуЛогические пробники общего назначенияВысокоплотные многоканальные пробникиИсследование полупроводниковых приборов и интегральных микросхемОсновы измерения статических параметров полупроводниковых приборовТипы тестируемых полупроводниковых приборовИзмерительная схема тестирования диодовИзмерительная схема тестирования транзисторов и микросхемКоммутация измерительных приборовТипичный объект тестирования нанотехнологий - нанодиодИсточники/измерители фирмы КеНЫеу для тестирования полупроводниковых приборов и микросхемЛинейные источники/измерители серии 2400Многоканальные системные источники/измерители серии 2600Контроль диодов с помощью источников/измерителей серии 2600Контроль микросхем с помощью источников/измерителей серии 2600Характериограф 4200-5С5Примеры работы с характериографом 4200-БС8Снятие характеристик полевых транзисторовВольт-амперные характеристики полевых транзисторовДифференциальные параметры полевых транзисторовИсследование полевых транзисторов с помощью характериографаАнализатор/характериограф силовых полупроводниковых приборов Agilent В1501АНазначение и внешний вид анализатора Agilint В1501АПримеры снятия характеристик мощного высоковольтного МДП-транзистораИзмерение радиочастотных параметров полупроводниковых приборов и микросхемИзмерение радиочастотных параметров цифровыми осциллографамиИзмерение радиочастотных параметров с помощью генераторов и анализаторов спектров, сигналов и цепейКомплекс измерения радиочастотных параметров фирмы КеНЫеуИзмерение дифференциальных параметровОпределение дифференциальных параметровНегатроны - приборы с отрицательной проводимостью и сопротивлениемМетоды измерения и построения М- и Б-образных ВАХИзмерения временных параметров полупроводниковых приборовФизические процессы при переключении диодовПлаты расширения для измерения временных параметров фирмы KeithleyИзмерение времен переключения биполярных транзисторовИзмерение параметров МДП-транзисторов во временной областиИзмерение времен переключения арсенид-галлиевых транзисторовИзмерение времени переключения туннельных диодовИзмерение времени переключения лавинных транзисторовТестирование интегральных микросхемСверхскоростные интегральные микросхемы как объекты тестированияТестирование интегральных компараторовТестирование интегральных усилителейКонтроль индикаторной панелиИзмерение параметров оптико-электронных приборовТипы, конструктивные особенности и назначение оптико-электронных приборовТипы полупроводниковых оптико-электронных приборовКонструкция и характеристики обычных светодиодовКонструкция и характеристики лазерных светодиодовЛазерная головка для считывания информации с оптических дисковКонструкция и характеристики фотоприемниковТестирование излучателей светового излученияИнтегрирующая сфера 25001МТ фирмы КеНМеуПостроение системы тестирования излучателей светаИсточники/измерители серии 2400 для IV тестирования оптоэлектронных приборовТестирование импульсных лазерных излучателейИнтегрирующая сфера для импульсных лазерных излучателей 252011ЧТСистема тестирования импульсных лазерных излучателей 2520Тестирование фотодиодов и фототранзисторовСнятие статических характеристик фотодиодов и фототранзисторовМногоканальная 1-У система тестирования 4500-МТБДвухканальный пикоамперметр серии 2502 для фотодиодных измеренийСистемные источники/измерители 2602/2612 для LIV тестированияИсследование высокоскоростных излучателей и приемников светаОсобенности динамики излучения высокоскоростных лазерных диодовУстановка для изучения динамики излучения высокоскоростных лазерных диодовНаблюдение эффекта обострения фронта импульса лазерного излученияЗапуск мощных лазерных диодов и лазерных решетокИмпульсные генераторы и оптические модули фирмы DEIИспытание сверхскоростных светодиодов и фотоприемниковИспытание световолоконных кабелей и линий передачиКонструкция и параметры световодов световолоконных кабелейОптическая рефлектометрияОптические мини-рефлекторыОсновы электронно-лазерной осциллографииПреобразования сверхкоротких импульсов лазерного излученияМетоды исследования импульсов лазерного излучения пико- и фемтосекундного диапазонаОптоэлектронный стробоскопический осциллографЛИТЕРАТУРА
 
РЕЗЮМЕ След >